Woongkee Lee2022년 9월 16일1분 분량진공챔버에 순차적으로 GAS 공급하는 과정에 대한 Fluid Mixing 기능을 활용한 농도 및 유동 현상 고찰ALD : Atomic Layer Deposition 원자층증착 Fluid Mixing(Multi Fluid) Vacuum Pump 진공챔버 Model 1D/3D CFD FMI Co-Simulation
ALD : Atomic Layer Deposition 원자층증착 Fluid Mixing(Multi Fluid) Vacuum Pump 진공챔버 Model 1D/3D CFD FMI Co-Simulation
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